如何發(fā)展國產(chǎn)的太陽能和LED生產(chǎn)設(shè)備，降低生產(chǎn)成本，是關(guān)乎中國綠色節(jié)能產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展的重大命題。目前國產(chǎn)太陽能光伏設(shè)備在國內(nèi)用戶中已建立起良好的信譽(yù)，得到業(yè)界的廣泛認(rèn)可，越來越多的客戶從國產(chǎn)設(shè)備使用中受益。中國光伏設(shè)備企業(yè)已基本具備太陽能電池制造整線裝備能力，部分產(chǎn)品如擴(kuò)散爐、等離子刻蝕機(jī)等開始少量出口，擴(kuò)散爐、等離子刻蝕機(jī)、清洗/制絨機(jī)、石英管清洗機(jī)、低溫烘干爐)已在國內(nèi)生產(chǎn)線占據(jù)主導(dǎo)地位，管式PECVD、快速燒結(jié)爐和進(jìn)口設(shè)備并存但份額在逐步增大，全自動絲網(wǎng)印刷機(jī)、自動分撿機(jī)、平板式PECVD則基本依賴進(jìn)口。
即將參展第76屆中國電子展暨亞洲電子展（上海）的青島華旗科技有限公司就是一家專業(yè)的半導(dǎo)體工藝設(shè)備及先進(jìn)材料專用設(shè)備研發(fā)、制造廠家，致力于為半導(dǎo)體集成電路分立器件、太陽能電池、半導(dǎo)體照明LED及磁性材料廠家提供先進(jìn)的專用設(shè)備,工藝涵蓋化合物半導(dǎo)體晶體生長、外延、薄膜淀積（氮化硅、氧化硅、多晶硅等）、氧化擴(kuò)散退火（含快速退火工藝）合金、真空燒結(jié)等工藝。該公司最新推出的JDF200-3FS太陽能電池?cái)U(kuò)散爐可供太陽能電池片生產(chǎn)線上125mm×125mm 、156mm×156mm方片擴(kuò)散、氧化、退火等工藝使用，主要特點(diǎn)和優(yōu)勢如下：
◆工業(yè)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，對爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閘門等動作進(jìn)行自動控制；
◆閉管式擴(kuò)散系統(tǒng)，有效降低生產(chǎn)成本，更潔凈，更環(huán)保；
◆石英舟采用軟著陸送片，高可靠性；
◆工藝有毒害尾氣定向收集、集中處理排放，更加安全環(huán)保；
◆具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置；
◆具有斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警等多種安全保護(hù)功能；
◆控溫精度好，溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好；
◆關(guān)鍵件全部采用進(jìn)口件，系統(tǒng)可靠性高，抗干擾性能強(qiáng)。
另一家參展商青島賽瑞達(dá)設(shè)備制造有限公司也將展示低壓化學(xué)氣相淀積設(shè)備、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積設(shè)備和SRD-VGF單晶爐設(shè)備。其LPCVD用于淀積薄膜Poly-Si、Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅及難熔金屬硅化物等多種薄膜。主要特性和優(yōu)勢如下：
◆ 對工藝時(shí)間、溫度、氣體流量、閥門動作、反應(yīng)室壓力實(shí)現(xiàn)自動控制；
◆ 采用進(jìn)口壓力控制系統(tǒng)，閉環(huán)控制，穩(wěn)定性強(qiáng)；
◆ 采用進(jìn)口耐腐蝕不銹鋼管件、閥門，確保氣路氣密性；
◆ 具有完善的報(bào)警功能及安全互鎖裝置；
◆ 具有良好的人機(jī)界面，靈活的工藝性能。
在LED照明方面，中國的大功率特性襯底技術(shù)、加工穩(wěn)定性以及對外延效率的提升率與國外相比，差距逐漸縮小，但是上游生產(chǎn)性外延設(shè)備一直主要依賴進(jìn)口昂貴的國外產(chǎn)品。MOCVD等關(guān)鍵設(shè)備對LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有舉足輕重的作用，有識之士都呼吁中國相關(guān)部門要集中人才和資源進(jìn)行重點(diǎn)開發(fā)，解決制造設(shè)備中的關(guān)鍵技術(shù)，掌握具有自主產(chǎn)權(quán)的核心技術(shù)，并盡早實(shí)現(xiàn)LED生產(chǎn)設(shè)備國產(chǎn)化量產(chǎn)。只有這樣才會加快推動LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展，降低LED相關(guān)產(chǎn)品的成本，實(shí)現(xiàn)健康、迅速地發(fā)展。
可喜的是，即將在第76屆中國電子展亮相的國產(chǎn)LED生產(chǎn)設(shè)備為人們點(diǎn)燃了希望，以青島華旗科技和青島賽瑞達(dá)為代表的一批中國設(shè)備制造商在關(guān)注太陽能電池市場的同時(shí)，正把目光投向LED、LCD、電力電子器件等市場應(yīng)用領(lǐng)域，并保持住價(jià)格優(yōu)勢，在新一輪的競爭中爭取更大的市場空間。他們或?qū)⒊蔀楦淖冎袊酥潦澜鏛ED生產(chǎn)設(shè)備市場格局的重要力量。
圖2就是青島華旗科技的一款適用于化合物半導(dǎo)體-LED/半導(dǎo)體照明等科研領(lǐng)域的外延及晶體生長MOCVD系統(tǒng)。該系統(tǒng)由生長室、氣源、氣體控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、整機(jī)的計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)等組成，系統(tǒng)各工藝參數(shù)均可由計(jì)算機(jī)自動控制（WINDOW 界面）。該產(chǎn)品可滿足2"多片晶圓，支持GaN/GaAs等薄膜工藝、采用電阻加熱/感應(yīng)加熱的結(jié)構(gòu)形式，生產(chǎn)能力為2英寸1、3、6片。另外，該公司還承擔(dān)了部分國家863項(xiàng)目（如半導(dǎo)體白光照明GaN生長的HVPE設(shè)備等）。
賽瑞達(dá)公司除了一系列太陽能專用設(shè)備之外，也開發(fā)了幾款LED生產(chǎn)設(shè)備，包括LED專用擴(kuò)散爐和專用合金爐。其LED專用擴(kuò)散爐和專用合金爐關(guān)鍵件全部采用進(jìn)口件，具有高可靠性和高抗干擾能力，具有可編程的升、降溫功能，以及有斷電報(bào)警、超溫報(bào)警、極限超溫報(bào)警等多種安全保護(hù)功能。可存儲九條工藝曲線，每條工藝曲線最多有九步，曲線間可以任意鏈接、重復(fù)。另外還具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置。賽瑞達(dá)可為客戶提供斜滾式推拉舟系統(tǒng)，石英雙桿推拉舟系統(tǒng)及SiC漿推拉舟系統(tǒng)的靈活選擇。
上游設(shè)備的成功本土化離不開下游外延芯片廠、LED封裝廠、模塊乃至燈具供應(yīng)商、后端設(shè)備商的配合與支持。據(jù)悉，本屆秋季中國電子展，匯集了真明麗、深圳市穩(wěn)亮電子、李洲科技、寧波升譜電子、常州愛立德電子、臺灣億光電子、金臺電子等眾多大中小型LED企業(yè)，以及田中精機(jī)、昆山具良、日特機(jī)械工程、華勝科技、上海富榮電子等一大批后端生產(chǎn)設(shè)備商，并專門開辟了LED照明展區(qū)，為產(chǎn)業(yè)上下游的互動提供了良好的互動平臺，有利于促成他們之間的合作。當(dāng)然，就像有些專家指出的，MOCVD等關(guān)鍵裝備的國產(chǎn)化也是一件體現(xiàn)國家意志的事情，建議國家大力地投入，全面地支持去做這件事，特別要注意工藝與設(shè)備的結(jié)合，要鼓勵(lì)外延芯片廠商應(yīng)用國產(chǎn)設(shè)備，同時(shí)要給予一定的資助。
