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利用光聲效應的MEMS氣體傳感器模塊

發(fā)布時間:2020-11-04 責任編輯:lina

【導讀】光聲效應(photoacoustic effect)在19世紀被發(fā)現(xiàn),它可以將光轉換成聲音。當物質受到周期性強度調制的光照射時,產生聲信號的現(xiàn)象。用光照射某種媒質時,由于媒質對光的吸收會使其內部的溫度改變從而引起媒質內某些區(qū)域結構和體積變化;當采用脈沖光源或調制光源時,媒質溫度的升降會引起媒質的體積漲縮,因而可以向外輻射聲波。這種現(xiàn)象稱為光聲效應。
   
光聲效應(photoacoustic effect)在19世紀被發(fā)現(xiàn),它可以將光轉換成聲音。當物質受到周期性強度調制的光照射時,產生聲信號的現(xiàn)象。用光照射某種媒質時,由于媒質對光的吸收會使其內部的溫度改變從而引起媒質內某些區(qū)域結構和體積變化;當采用脈沖光源或調制光源時,媒質溫度的升降會引起媒質的體積漲縮,因而可以向外輻射聲波。這種現(xiàn)象稱為光聲效應。
 
光聲效應被應用于非分散性紅外吸收光譜(NDIR Non-Dispersive InfraRed)等設備中,NDIR是第一個利用這種效應檢測氣體的商用設備。NDIR是一種基于氣體吸收理論的方法。紅外光源發(fā)出的紅外輻射經(jīng)過一定濃度待測的氣體吸收之后,與氣體濃度成正比的光譜強度會發(fā)生變化,因此求出光譜光強的變化量就可以反演出待測氣體的濃度。
 
調制光強度會產生周期性的壓力變化,這種變化可通過像麥克風這樣的聲音檢測設備來測量的。比較光聲效應不同實現(xiàn)方式的標準包括選擇性、靈敏度和尺寸。
 
隨著當今人們對建筑效率的不斷提高,空氣流動性也隨之降低。可能會導致氧氣減少以及二氧化碳(CO2)濃度的累積。通過檢測有害氣體水平可以預防健康問題。基于光聲光譜(PAS),英飛凌公司開發(fā)了XENSIV PAS環(huán)境傳感器,就用于檢測CO2濃度。微型化傳感器克服了現(xiàn)有的尺寸、成本和性能挑戰(zhàn)。
 
 
利用光聲效應的MEMS氣體傳感器模塊
 
使用一個高靈敏度的MEMS麥克風作為探測器和集成印刷電路板(PCB)的設計比商用的CO2傳感器減少了75%以上的空間需求。PCB上的集成(在14 x 13.8 x 7.5 mm²模塊中)了包括PAS傳感器和探測器、紅外光源和光學濾波器、用于信號和算法處理的微控制器以及驅動紅外源的MOSFET芯片。
 
傳感器中的IM69D130 MEMS麥克風以69dB(a)的信噪比(SNR)檢測CO2分子產生的壓力變化。
 
除了智能家居和樓宇自動化應用,如按需控制的通風系統(tǒng)、空氣凈化器和恒溫器,PAS傳感器具有體積小、成本低等特點,適用于車內空氣質量監(jiān)測。
 
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